Hocheffiziente UVC-LEDs

Laufzeit: 01.01.2015 - 31.12.2016

Schlussberichte der Teilvorhaben
 

»Effiziente Prozesse für Basisschichten und UV-C LED-Chips
Ferdinand Braun Institut

»Optimierung des ALD-Verfahrens für Template-Herstellung
SENTECH Instruments GmbH

»Epitaxie und Simulation von UV-C-LEDs
Technische Universiät Berlin

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