UV-,vis-,NIR-Reflektometrie für die in-situ-Überwachung der Epitaxie von UV-LEDs
Laufzeit: 01.01.2016 - 30.06.2018
Schlussberichte der Teilvorhaben
»Transparenter UV-Detektor, Baugruppenintegration und Systemtest
Ferdinand-Braun-Institut
»UV-vis-NIR in-situ Reflektometer
LayTec GmbH
Partner
