UV-,vis-,NIR-Reflektometrie für die in-situ-Überwachung der Epitaxie von UV-LEDs

Laufzeit: 01.01.2016 - 30.06.2018

Schlussberichte der Teilvorhaben
 

»Transparenter UV-Detektor, Baugruppenintegration und Systemtest
Ferdinand-Braun-Institut

»UV-vis-NIR in-situ Reflektometer
LayTec GmbH

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