Halbleitertechnologien & Bauelemente

  • Strukturierter 2 Zoll GaN-Wafer © FBH/schurian.com
    [+] Strukturierter 2 Zoll GaN-Wafer © FBH/schurian.com
  • EpiCurveTT © LayTec
    [+] EpiCurveTT © LayTec
  • Flip-Chip Submount © FBH/schurian.com
    [+] Flip-Chip Submount © FBH/schurian.com
  • Montierte UV-Leuchtdiode auf TO Gehäuse © FBH/schurian.com
    [+] Montierte UV-Leuchtdiode auf TO Gehäuse © FBH/schurian.com
  • Verkappte UV-LED © FBH/schurian.com
    [+] Verkappte UV-LED © FBH/schurian.com

Die Partner im Themenfeld Halbleitertechnologien & Bauelemente erforschen und entwickeln UV-LEDs und die zu ihrer Herstellung erforderlichen Technologien. Das Ziel besteht darin, Bauelemente zu entwickeln, deren Parameter exakt auf die vorgesehenen Anwendungen zugeschnitten sind. Dabei stellen LEDs für den kurzwelligsten UV-Spektralbereich eine besondere wissenschaftliche und technologische Herausforderung dar.

Auf längere Sicht ist vorgesehen, AlN-Substrate für UVC-Emitter einzusetzen. Daher beschäftigen sich die Partner Leibniz-Institut für Kristallzüchtung, Freiberger Compound Materials GmbH und CrysTec GmbH mit der Züchtung und Bearbeitung von AlN-Volumenkristallen.

Das Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstefrequenztechnik (FBH) und die Technische Universität Berlin (TUB) verfügen über die Reinräume und Prozessanlagen, unter anderem von der Firma SENTECH Instruments GmbH. Diese umfassen die komplette Prozesskette für UV-LEDs - von der Epitaxie über den Waferprozess bis hin zur Chipvereinzelung und Charakterisierung. Die komplexen Heterostrukturen werden in spezialisierten MOVPE-Anlagen hergestellt, wobei die Epitaxieprozesse mit Geräten der LayTec AG überwacht werden. Das FBH und die TUB arbeiten im Rahmen des ‚Joint Lab GaN Optoelectronics‘ bei allen Technologieschritten, wie Strukturierung, Passivierung, Metallisierung, Vereinzelung und Montage eng zusammen. Beide Partner verfügen über die notwendigen Simulationsprogramme und Messverfahren zur Material- und Bauelementecharakterisierung.

Zur Detektion von UV-Strahlung entwickelt das FBH wellenlängenselektive Detektoren auf der Basis von AlGaN. Die sglux GmbH entwickelt in Kooperation mit dem FBH Detektorarrays auf der Basis von SiC.