• Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (1/6): AlN Crystal © IKZ
    Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (1/6): AlN Crystal © IKZ
  • Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (2/6): Epitaxy © FBH/schurian.com
    Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (2/6): Epitaxy © FBH/schurian.com
  • Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (3/6): LED Processing © FBH/schurian.com
    Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (3/6): LED Processing © FBH/schurian.com
  • Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (4/6): Wafer Mapping © FBH/schurian.com
    Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (4/6): Wafer Mapping © FBH/schurian.com
  • Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (5/6): UV LED Chip Dicing © FBH/schurian.com
    Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (5/6): UV LED Chip Dicing © FBH/schurian.com
  • Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (6/6): Flip-Chip UV LED in Package © FBH/schurian.com
    Technologiekette zur Herstellung von UV-LEDs (6/6): Flip-Chip UV LED in Package © FBH/schurian.com

Halbleitertechnologien & Bauelemente

Die Entwicklung der kompletten Technologiekette für UV-LEDs mit anwendungsspezifischer Wellenlänge, Leistung und Bauform und deren stabiler, reproduzierbarer Betrieb bilden die Grundlage für die weit gefächerten Anwendungen des Konsortiums Advanced UV for Life. Im Themenfeld Halbleitertechnologien & Bauelemente wird eine komplette Technologiekette für LEDs in den Wellenlängenbändern UVB und UVC etabliert.

Ziel der Entwicklungsarbeiten ist in einem ersten Schritt die Bereitstellung von UV-LEDs für Demonstratoraufbauten, mit denen die verschiedenen Anwendungen in den anderen Themenfeldern des Konsortiums demonstriert und entwickelt werden können. Die dabei gewonnenen Erfahrungen fließen in die kontinuierliche Weiterentwicklung der Technologie in Richtung höherer Leistung, aber auch längerer Bauelementlebensdauer ein. Diese Entwicklungen sollen die Basis legen für die Fertigung von UV-LEDs am Standort Deutschland.

Forschungs- und Entwicklungsprojekte:
 

»AIN-Substrate

»Ertüchtigung der Prozesskette für UV-LEDs

»UVB-LEDs hoher Ausbeute, Effizienz und Leistung

»Hocheffiziente UVC-LEDs

»Miniaturisierte Spektrometer- und Kameramodule für den UV-Bereich

»UV-,vis-,NIR-Reflektometrie für die in-situ-Überwachung der Epitaxie von UV-LEDs

»Zuverlässigkeit von UV-LEDs

»UV Power